Sensor ea khatello ea semiconductor e sebelisoang hangata e sebelisa sephaphatha sa silicon sa mofuta oa N e le substrate.Taba ea mantlha, sephaphatha sa silicon se entsoe hore e be karolo e nang le khatello ea maikutlo e nang le geometry e itseng.Karolong e jereng khatello ea maikutlo ea sephaphatha sa silicon, li-resistants tse 'nè tsa mofuta oa P li etsoa ka litsela tse fapaneng tsa kristale, ebe ho thehoa borokho ba Wheatstone bo nang le matsoho a mane ka lihanyetsi tsena tse' nè.Tlas'a ketso ea matla a ka ntle, liphetoho tsa litekanyetso tsa ho hanyetsa li fetoha lipontšo tsa motlakase.Borokho bona ba wheatstone bo nang le khatello ea khatello ke pelo ea kutlo ea khatello, eo hangata e bitsoang borokho ba piezoresistive (joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong sa 1).Litšobotsi tsa borokho ba piezoresistive ke tse latelang: ① litekanyetso tsa ho hanyetsa tsa matsoho a mane a borokho li lekana (kaofela r0);② Phello ea piezoresistive ea matsoho a haufi a borokho e lekana ka boleng le ho fapana ka pontšo;③ Mocheso oa mocheso oa ho hanyetsa oa matsoho a mane a borokho o tšoana, 'me a lula a le mocheso o le mong.Ka feiga.1, R0 ke boleng ba ho hanyetsa ntle le khatello ea maikutlo mocheso oa kamore;RT ke phetoho e bakoang ke mocheso oa mocheso oa ho hanyetsa (α) ha mocheso o fetoha;Υ Rδ ke phetoho ea khanyetso e bakoang ke khatello (ε);Borokho bo hlahisoang ke borokho ke u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (borokho ba mohloli oa kamehla).

Moo I0 e lulang e le mohloli oa hona joale oa hona joale 'me e ke motlakase oa motlakase oa kamehla.Phallo ea motlakase ea borokho ba piezoresistive e lekana ka ho toba le khatello (ε) 'me ha e amane le RT e bakoang ke mocheso oa mocheso oa ho hanyetsa, o fokotsang haholo mocheso oa mocheso oa sensor.Sensor ea khatello ea semiconductor e sebelisoang ka ho fetesisa ke sensor bakeng sa ho bona khatello ea mokelikeli.Sebopeho sa eona se seholo ke capsule e entsoeng ka silicon ea monocrystalline (joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong sa 2).Diaphragm e entsoe ka senoelo, 'me tlase ea senoelo ke karolo e jereng matla a ka ntle,' me borokho ba khatello bo etsoa ka tlaase ho senoelo.Ring pedestal e entsoe ka thepa e tšoanang ea silicon e le 'ngoe ea kristale, ebe diaphragm e hokahanngoa le pedestal.Mofuta ona oa sensor ea khatello e na le melemo ea kutlo e phahameng, molumo o monyenyane le ho tiea, 'me e' nile ea sebelisoa haholo ho lifofane, ho tsamaisa sebaka, lisebelisoa tsa boiketsetso le lisebelisoa tsa bongaka.