Sensor khatello ea enjene 2CP3-68 1946725 bakeng sa Carter excavator

Mokhoa oa ho lokisa sensor ea khatello, e khetholloang ka ho kenyelletsa mehato e latelang:

S1, ho fana ka sephaphatha se nang le bokamorao le bokaholimo bo ka pele;Ho theha lesela la piezoresistive le sebaka sa ho kopana se nang le doped haholo ka pele ho sephaphatha;Ho theha sekoti se tebileng sa khatello ka ho koala bokamorao ba sephaphatha;

S2, e tlamang pampiri ea tšehetso ka morao ho sephaphatha;

S3, ho etsa masoba a loto le lithapo tsa tšepe ka lehlakoreng le ka pele la sephaphatha, le ho kopanya likhoele tsa piezoresistive ho etsa borokho ba Wheatstone;

S4, ho kenya le ho etsa lesela la passivation karolong e ka pele ea sephaphatha, le ho bula karolo ea lera la passivation ho theha sebaka sa tšepe.2. Mokhoa oa ho etsa mochine oa khatello ea khatello ho ea ka 1, moo S1 e nang le mehato e latelang ka ho khetheha: S11: ho fana ka sephaphatha se nang le mokokotlo o ka morao le sebaka se ka pele, le ho hlalosa botenya ba filimi e nang le khatello ea khatello holim'a sephaphatha;S12: ho kenngoa ha ion ho sebelisoa ka holim'a bokaholimo ba sephaphatha, likhoele tsa piezoresistive li etsoa ke ts'ebetso ea phallo e phahameng ea mocheso, 'me libaka tsa ho ikopanya li entsoe haholo;S13: ho beha le ho etsa lera le sireletsang holim'a bokaholimo ba sephaphatha;S14: ho phunya le ho etsa sekoti se tebileng sa khatello ka morao ho sephaphatha ho etsa filimi e tsotellang khatello.3. Mokhoa oa ho etsa mochine oa khatello ho ea ka 1, moo sephaphatha ke SOI.

Ka 1962, Tufte et al.e entse sensor ea khatello ea piezoresistive e nang le likhoele tse pharalletseng tsa silicon piezoresistive le sebopeho sa filimi ea silicon lekgetlo la pele, mme a qala lipatlisiso mabapi le sensor ea khatello ea piezoresistive.Ho elella bofelong ba lilemo tsa bo-1960 le mathoasong a lilemo tsa bo-1970, ponahalo ea theknoloji e meraro, e leng, theknoloji ea silicon anisotropic etching, thekenoloji ea ho kenngoa ha ion le theknoloji ea bonding ea anodic, e tlisitse liphetoho tse kholo ho sensor ea khatello, e ileng ea phetha karolo ea bohlokoa ho ntlafatsa ts'ebetso ea mochine oa khatello. .Ho tloha lilemong tsa bo-1980, ka tsoelo-pele e eketsehileng ea theknoloji ea micromachining, e kang anisotropic etching, lithography, diffusion doping, ho kenngoa ha ion, ho kopanya le ho roala, boholo ba sensor ea khatello e ntse e fokotseha, kutloisiso e ntlafalitsoe, 'me tlhahiso e phahame. tshebetso e ntle haholo.Ka nako e ts'oanang, nts'etsopele le ts'ebeliso ea theknoloji e ncha ea micromachining e etsa hore botenya ba filimi ea sensor ea khatello e laoloe ka nepo.