E loketse Hitachi KM11 khatello ea oli ea sensor EX200-2-3-5

Litheknoloji tse 'ne tsa khatello ea sensor ea khatello

1. E na le bokhoni

li-sensor tsa khatello ea capacitive hangata li ratoa ke palo e kholo ea lits'ebetso tsa profeshenale tsa OEM. Ho bona liphetoho tsa capacitance lipakeng tsa libaka tse peli ho thusa li-sensor tsena ho utloa khatello e tlase haholo le maemo a vacuum. Sebokeng sa rona se tloaelehileng sa sensor, ntlo e kopaneng e na le likarolo tse peli tsa tšepe tse arohaneng, tse bapileng le tse arohaneng ka motlakase, e 'ngoe ea tsona e leng diaphragm e khonang ho kobeha hanyane tlasa khatello. Libaka tsena tse tsitsitseng (kapa lipoleiti) li kenngoa e le hore ho kobeha ha kopano ho fetola lekhalo pakeng tsa bona (ha e le hantle ho etsa capacitor e fapaneng). Phetoho e hlahisoang e bonoa ke potoloho e bapisang ea mela e nang le (kapa ASIC), e holisang le ho hlahisa lets'oao la boemo bo holimo.

Mofuta oa 2.CVD

Chemical vapor deposition (kapa "CVD") e kopanya lera la polysilicon ho diaphragm ea tšepe e sa hloekang boemong ba limolek'hule, ka hona e hlahisa sensor e nang le ts'ebetso e ntle ea nako e telele ea ho hoholeha. Mekhoa e tloaelehileng ea ho etsa li-semiconductor ea batch e sebelisoa ho theha marokho a polysilicon a nang le ts'ebetso e ntle haholo ka theko e tlase haholo. Sebopeho sa CVD se na le ts'ebetso e ntle ea litšenyehelo mme ke sensor e tsebahalang haholo lits'ebetsong tsa OEM.

3. Mofuta oa filimi ea sputtering

Sputtering film deposition (kapa "filimi") e ka etsa sensor e nang le linearity e kopaneng, hysteresis le pheta-pheto. Ho nepahala ho ka ba holimo ho 0.08% ea tekanyo e feletseng, ha nako e telele ea nako e telele e le tlase ho 0.06% ea tekanyo e feletseng selemo se seng le se seng. Ts'ebetso e makatsang ea lisebelisoa tsa bohlokoa-sensor ea rona e tšesaane ea filimi ke letlotlo indastering ea ho lemoha khatello.

Mofuta oa 4.MMS

Lisensara tsena li sebelisa diaphragm ea micro-machined silicon (MMS) ho bona liphetoho tsa khatello. Silicon diaphragm e arotsoe ho tloha bohareng ke 316SS e tlatsitsoeng ka oli, 'me li arabela ka letoto la khatello ea mokelikeli oa tšebetso. Sensor ea MMS e sebelisa theknoloji e tloaelehileng ea tlhahiso ea semiconductor, e ka fihlelang khanyetso e phahameng ea motlakase, mohala o motle, ts'ebetso e ntle ea ts'ebetso ea mocheso le botsitso ka har'a sephutheloana sa sensor e kopaneng.